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Partikelinspektion von Glas-Wafern

Dr. Schenk ParticleInspect für die Partikelinspektion von Glas-Wafern dient der schnellen Detektion von Partikeln auf blanken Wafern und Wafern mit AR-Beschichtung.
Dr. Schenk ParticleInspect scannt mit hoher Auflösung nach kleinsten Partikeln, wie zum Beispiel:
- Staub
- Haaren
- Fasern
- anhaftenden Glasplättchen
So können Hersteller die Ursachen von Verschmutzungen ermitteln und vermeiden, bevor es zu großen Verlusten in der Produktion kommt.
ParticleInspect für die Inspektion von Glas-Wafern kann eindeutig zwischen Partikeln auf der A- und B-Seite unterschieden: ein Vorteil, den nur die Lösung von Dr. Schenk bietet. Das System besteht aus einer komplett eigenständigen AOI (automatische optische Inspektion) Lösung mit Schubladen-Handling.



