Dr. Schenk GmbH

Partikelinspektion von Glas-Wafern

Partikelinspektion von Glas-Wafern
Partikelinspektion von Glas-Wafern

Dr. Schenk ParticleInspect für die Partikelinspektion von Glas-Wafern dient der schnellen Detektion von Partikeln auf blanken Wafern und Wafern mit AR-Beschichtung.

Dr. Schenk ParticleInspect scannt mit hoher Auflösung nach kleinsten Partikeln, wie zum Beispiel:

  • Staub
  • Haaren
  • Fasern
  • anhaftenden Glasplättchen

So können Hersteller die Ursachen von Verschmutzungen ermitteln und vermeiden, bevor es zu großen Verlusten in der Produktion kommt.

ParticleInspect für die Inspektion von Glas-Wafern kann eindeutig zwischen Partikeln auf der A- und B-Seite unterschieden: ein Vorteil, den nur die Lösung von Dr. Schenk bietet. Das System besteht aus einer komplett eigenständigen AOI (automatische optische Inspektion) Lösung mit Schubladen-Handling.

Partikel 1 µm
Partikel 1 µm
Partikel 3 µm
Partikel 3 µm
Partikel 5 µm
Partikel 5 µm
Defektkarte: Übersicht nach Partikel-Scan
Defektkarte: Übersicht nach Partikel-Scan

>> Broschüren herunterladen

3-Day AOI training course at Dr. Schenk in Germany

Become an inspection expert with Dr. Schenk![mehr]


Dr. Schenk trade show booth

Come and see us at these events in 2019![mehr]


Ultra-fast Dr. Schenk TDI cameras as used in the Clean4Yield project

Dr. Schenk is one of the 15 partners in this prestigious project[mehr]