Partikelinspektion von Glas-Wafern

Dr. Schenk ParticleInspect für die Partikelinspektion von Glas-Wafern dient der schnellen Detektion von Partikeln auf blanken Wafern und Wafern mit AR-Beschichtung.

Dr. Schenk ParticleInspect scannt mit hoher Auflösung nach kleinsten Partikeln, wie zum Beispiel:

• Staub
• Haaren
• Fasern
• anhaftenden Glasplättchen

So können Hersteller die Ursachen von Verschmutzungen ermitteln und vermeiden, bevor es zu großen Verlusten in der Produktion kommt.

ParticleInspect für die Inspektion von Glas-Wafern kann eindeutig zwischen Partikeln auf der A- und B-Seite unterschieden: ein Vorteil, den nur die Lösung von Dr. Schenk bietet. Das System besteht aus einer komplett eigenständigen AOI (automatische optische Inspektion) Lösung mit Schubladen-Handling.