Dr. Schenk GmbH
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母盘与压模生产

Dr. Schenk 测试和检测系统树立了母盘生产过程标准。Dr. Schenk 在玻璃毛坯、镀膜毛坯、金属化玻璃母盘和压模方面的经验是无法超越的。Dr. Schenk 提供合适的解决方案,用于抛光、光阻涂布、蚀刻、金属化和冲压后的检测。


Dr. Schenk 测试和检测系统用于压模和玻璃母盘

VCC.ism-L+

高分辨率压模和玻璃母盘扫描器
所有光盘格式的新的和已使用母盘与压模持续质量检查。相较于目视检查或显微镜检测,自动光学检测系统更为优越。采用 VCC.ism-L+ 的母盘部门,产量提高了 5%。更多信息

Pythagoras

颜射级测量
测试玻璃母盘、压模和光盘的衍射效率及光致抗蚀剂层厚。Pythagoras 提供关于母盘生产的快速反馈,支持优化压模的电铸过程,或确保模制过程中的复制质量。Pythagoras 是控制母盘生产参数,如光致抗蚀剂厚度、激光功率和开发时间的强大工具。更多信息