Dr. Schenk GmbH

Pythagoras

检查玻璃母盘、压模和光盘的衍射效率,测量光致抗蚀剂层厚。

母盘、压模制造和复制过程中通常采用衍射级测量来确定坑/槽形成质量。

当相关过程步骤未以最佳性能运行时,按最佳生产效率执行的测量将很快显示变化,从而触发从源头采取纠正措施。

Pythagoras 可测量直径达 400mm 的玻璃母盘、压模和光盘。透明玻璃母盘和光盘衬底可在传输模式下执行测量,金属玻璃母盘、压模和金属光盘可在反射模式下执行测量。Pythagoras 采用 405 nm 的蓝紫色固体激光对磁道间距低至 500 nm(零阶和一阶磁道间距甚至低至 250nm)的零阶、一阶和二阶衍射进行测量。

Pythagoras 由 PT-250 系统和 PT-PResTO 选件组成。其提供关于母盘生产的快速反馈,支持优化压模的电铸过程,或确保模制过程中的复制质量。

Pythagoras PT-250

Pythagoras PT-250 扫描玻璃母盘、压模或光盘的完整表面,角步长为 3 °,径向步长可选。120mm 光盘的整个扫描测量时间一般为 10 秒左右。操作人员可选择通过 PT-250 扫描光盘上特定角的径向剖面。衍射传感器的定位由操作人员手动完成。

测量值和评估值可显示为径向图 - 角图或全部表面分布图。所有数据均可保存用于存档或进一步用于统计分析。

Pythagoras PT-PResTO

Pythagoras PT-PResTO 对玻璃母盘的光致抗蚀剂层厚进行分析。这是确定母盘和压模及最终光盘的坑槽深度的重要参数。PT-PResTO 已准备在未来升级,通过安装激光器和衍射传感器提高 PT-250 的性能。

选件

The Pythagoras PT-250 可配备 PResTO 光致抗蚀剂选件,来测量玻璃母盘的光致抗蚀剂层厚。光致抗蚀剂测量通过检查验证旋涂过程,确保稳定的母盘性能,从而节约了成本并减少了次品量。

 


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