ガラスウェハ微粒子の検査

ガラスウェハ微粒子検査用Dr. Schenkパーティクルインスペクトは、ベアガラスウェハとARコーティングを施したガラスウェハの高速パーティクル検出用に設計されています。

Dr. Schenkパーティクルインスペクトは、次のような微小パーティクル検出のｔあめの高解像度スキャンを提供します。

• 塵埃
• 毛髪
• 繊維
• 付着したガラス破片

これらの早期検出により、汚染源を特定し、大きな歩留まり低下が発生する前に対処できるようになります。

パーティクルインスペクトは、ベアガラスウェハ検査において、A面の粒子とB面の粒子を明確に区別することができ、これはDr.Schenkの検査システムならではの利点です。このシステムは、自動搬送付きの完全なスタンドアローンAOIソリューションで構成されています。