ガラスウェハ微粒子検査用Dr. Schenkパーティクルインスペクトは、ベアガラスウェハとARコーティングを施したガラスウェハの高速パーティクル検出用に設計されています。
Dr. Schenkパーティクルインスペクトは、次のような微小パーティクル検出のtあめの高解像度スキャンを提供します。
これらの早期検出により、汚染源を特定し、大きな歩留まり低下が発生する前に対処できるようになります。
パーティクルインスペクトは、ベアガラスウェハ検査において、A面の粒子とB面の粒子を明確に区別することができ、これはDr.Schenkの検査システムならではの利点です。このシステムは、自動搬送付きの完全なスタンドアローンAOIソリューションで構成されています。